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合作单位：辽宁省分析科学研究院
精密离子刻蚀仪(101) - 4
绿光飞秒振镜切割机
化学双喷减薄仪(Tenupol-5)（四楼）
双束氙离子显微镜系统
1200℃箱式炉
微动摩擦磨损试验机
场发射扫描电子显微镜G4
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