今天是:
场发射扫描电子显微镜460
场发射扫描电子显微镜460
Verios 460
荷兰FEI
谭军
83978880
李薰楼168房间
主要技术指标
› 电子成像分辨率:0.7nm@15kV
                             1nm@500V
                             1.2@200V
› 电子束束流:0.8pA-100nA
› 加速电压:500v-30kV
› 样品台:带减速模式,五轴压电驱动样品台
› 移动范围指标:X =100 mm
                          Y = 100 mm
                          Z ³ 20mm
› X/Y重复精度:0.5µm
常用附件
› 高分辨In-lens探测器
› ET二次电子成像探测器
› 红外样品室成像探测器
› 高衬度背散射电子探头
› Oxford Inca 能谱仪
› Oxford Channel Five 电子背散射衍射系统
主要用途

       材料表面微观形貌成像和相分析,通过高衬度背散射探测器成像观察晶粒尺度和孪晶结构分布;结合能谱仪进材料元素分析和含量测量;通过电子背散射衍射系统对晶体材料的物相鉴定,进行晶体材料的晶体结构和晶体取向分析

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