沈阳材料科学国家研究中心

设备名称：场发射扫描电子显微镜460

设备型号：Verios 460

制造商：荷兰FEI

负责人：谭军

联系方式：83978880

放置地点：李薰楼168房间

主要技术指标

› 电子成像分辨率：0.7nm@15kV
                          1nm@500V
                             1.2@200V
› 电子束束流：0.8pA-100nA
› 加速电压：500v-30kV
› 样品台：带减速模式，五轴压电驱动样品台
› 移动范围指标：X =100 mm
                        Y = 100 mm
                        Z ³ 20mm
› X/Y重复精度：0.5µm

常用附件

› 高分辨In-lens探测器
› ET二次电子成像探测器
› 红外样品室成像探测器
› 高衬度背散射电子探头
› Oxford Inca 能谱仪
› Oxford Channel Five 电子背散射衍射系统

主要用途

材料表面微观形貌成像和相分析，通过高衬度背散射探测器成像观察晶粒尺度和孪晶结构分布；结合能谱仪进材料元素分析和含量测量；通过电子背散射衍射系统对晶体材料的物相鉴定，进行晶体材料的晶体结构和晶体取向分析

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