› 电子成像分辨率：0.7nm@15kV
1nm@500V
1.2@200V
› 电子束束流：0.8pA-100nA
› 加速电压：500v-30kV
› 样品台：带减速模式，五轴压电驱动样品台
› 移动范围指标：X =100 mm
Y = 100 mm
Z ³ 20mm
› X/Y重复精度：0.5µm
› 高分辨In-lens探测器
› ET二次电子成像探测器
› 红外样品室成像探测器
› 高衬度背散射电子探头
› Oxford Inca 能谱仪
› Oxford Channel Five 电子背散射衍射系统
材料表面微观形貌成像和相分析，通过高衬度背散射探测器成像观察晶粒尺度和孪晶结构分布；结合能谱仪进材料元素分析和含量测量；通过电子背散射衍射系统对晶体材料的物相鉴定，进行晶体材料的晶体结构和晶体取向分析
