今天是:
中文
丨
ENGLISH
仪器设备
仪器设备
新闻文章
搜索
首页
部门概况
部门设置
制样技术组
射线技术组
扫描技术组
透射技术组
性能技术组
技术队伍
部门负责人
技术组长
技术人员
团队掠影
仪器设备
制样技术组
射线技术组
扫描技术组
透射技术组
性能技术组
技术进展
信息服务
技术信息
规章表格
综合新闻
联系方式
制样技术组
射线技术组
扫描技术组
透射技术组
性能技术组
首页
·
仪器设备
合作单位:辽宁省分析科学研究院
设备名称:
场发射扫描电子显微镜(SU-70)
设备型号:
HITACHI SU-70 SEM
制造商:
日本HITACHI公司
负责人:
梁艳
联系方式:
23971820
放置地点:
李薰楼124房间
主要技术指标
› 分辨率:1nm @15kV; 2.5 nm @1kV
› 放大倍数:20~800kX
› 加速电压:0.5-30kV
› 倾转角度:-5°~70°
› 样品台移动范围:X=Y=110mm;Z 最大40mm
› 样品尺寸:最大直径150mm
› 电子枪:肖特基场发射
› 束流:1pA-100nA
常用附件
› ET二次电子成像探测器
› HORIBA XMAX50能谱仪,成分范围Be~U
› HORIBA MP-32S阴极荧光光谱仪
主要用途
可实现固体样品的微观形貌观察和微区能谱成分分析及线分布、面分布分析;配备的阴极荧光探头,可以在进行表面形貌分析的同时,研究半导体材料的发光特性。
附件下载
无