今天是:
场发射扫描电子显微镜(SU-70)
场发射扫描电子显微镜(SU-70)
HITACHI SU-70 SEM
日本HITACHI公司
梁艳
23971820
李薰楼124房间
主要技术指标
› 分辨率:1nm @15kV; 2.5 nm @1kV
› 放大倍数:20~800kX
› 加速电压:0.5-30kV
› 倾转角度:-5°~70°
› 样品台移动范围:X=Y=110mm;Z 最大40mm
› 样品尺寸:最大直径150mm
› 电子枪:肖特基场发射
› 束流:1pA-100nA
常用附件
› ET二次电子成像探测器
› HORIBA XMAX50能谱仪,成分范围Be~U
› HORIBA MP-32S阴极荧光光谱仪
主要用途

可实现固体样品的微观形貌观察和微区能谱成分分析及线分布、面分布分析;配备的阴极荧光探头,可以在进行表面形貌分析的同时,研究半导体材料的发光特性。

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