› 分辨率：1nm @15kV； 2.5 nm @1kV
› 放大倍数：20～800kX
› 加速电压：0.5-30kV
› 倾转角度：-5°～70°
› 样品台移动范围：X=Y=110mm；Z 最大40mm
› 样品尺寸：最大直径150mm
› 电子枪：肖特基场发射
› 束流：1pA-100nA