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场发射扫描电子显微镜(SU-70)

设备名称：场发射扫描电子显微镜(SU-70)

设备型号：HITACHI SU-70 SEM

制造商：日本HITACHI公司

负责人：梁艳

联系方式：23971820

放置地点：李薰楼124房间

主要技术指标

› 分辨率：1nm @15kV； 2.5 nm @1kV
› 放大倍数：20～800kX
› 加速电压：0.5-30kV
› 倾转角度：-5°～70°
› 样品台移动范围：X=Y=110mm；Z 最大40mm
› 样品尺寸：最大直径150mm
› 电子枪：肖特基场发射
› 束流：1pA-100nA

常用附件

› ET二次电子成像探测器
› HORIBA XMAX50能谱仪，成分范围Be~U
› HORIBA MP-32S阴极荧光光谱仪

主要用途

可实现固体样品的微观形貌观察和微区能谱成分分析及线分布、面分布分析；配备的阴极荧光探头，可以在进行表面形貌分析的同时，研究半导体材料的发光特性。

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