› 分辨率 512线 › Z 向最大扫描高度 5 m › X, Y方向最大扫描范围125 m *125 m › 样品大小：直径≤15 mm, 厚度≤5 mm › 扫描模式: 空气中轻敲模式/接触模式(标准)
› 常用Si 探针 › 超尖Si 探针 › 导电探针 › 金刚石压痕探针
主要用于小试样表面形貌的立体表征。测量试样表面纳米级起伏，粗糙度等立体形态。
