今天是:
二次离子质谱仪
二次离子质谱仪
ION TOF-SIMS 5
德国Ion-Tof GmbH
代春丽
23971092
李薰楼166房间
主要技术指标
› 一次离子枪Bi+,30keV
› 飞行时间质谱分析器,低质量数(29u)质量分辨能力优于11000(FWHM),高质量数(>200u)质量分辨能力优于16000(FWHM)。
› 用于溅射的双源离子枪O2枪和Cs枪,能量250eV-2keV。
› 二次离子成像空间横向分辨率优于100nm。
› 深度剖析的纵向分辨率2nm。
› 杂质检测限为ppm量级。
常用附件
› Bi液态金属离子团簇离子源
› 电子束轰击气体离子源
› 热离化Cs离子源
› 飞行时间质量分析器
› 用于加热和冷却的快速样品托HOLDER G
› CCD红外相机
主要用途

可对任何形状的固态样品实现质谱分析、深度剖析以及面分布分析。能分析包括氢、氦在内的全部元素及其同位素;能分析有机化合物,通过分子离子峰可得到准确的分子量信息,通过碎片离子峰可得到分子结构信息。

附件下载