今天是:
双束氙离子显微镜系统
双束氙离子显微镜系统
Helios PFIB CXe
美国 Thermofisher scientific
梁艳
23971820
李薰楼153房间
主要技术指标

› 离子源:Xe等离子束
› 离子束交叉点分辨率:≤20 nm @ 30 kV 
› 离子束束加速电压:2kV-30 kV
› 离子束流强度:1.5pA-2.5μA
› 电子束分辨率:≤0.6nm @2kV- 15kV
› 电子束加速电压:20V-30 kV
› 电子束束流强度:0.8pA-100nA

常用附件

› 纳米机械手
› 钨沉积气体
› 牛津能谱仪系统(AZtecLive UltimMax 100)
› 牛津电子背散射衍射系统(Symmetry)

主要用途

› 材料纳微米级尺度高精度加工、修改、成型和高分辨成像的重要工具。结合电子束高分辨显微表征和能谱等辅助分析,进行材料高分辨微观形貌、三维缺陷结构、晶体取向及元素含量分布信息测试。

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