今天是:
多离子束显微镜
多离子束显微镜
Zeiss Orion NanoFab
德国Zeiss
梁艳
23971820
李薰楼153房间
主要技术指标

氦离子束:分辨率0.5nm@30kV(成像)

氦离子束:束流0.1-100pA,加速电压10-30kV

氖离子束:分辨率1.9 nm@25kV

氖离子束:束流0.1-50 pA,加速电压10-25kV

镓离子束:分辨率3nm@35kV

镓离子束束流:1pA-100nA,加速电压1-30kV

常用附件

SE 探测器

主要用途

集镓、氖、氦三种离子束于一身,是能实现从微米到纳米微加工的先进成像加工系统。使用镓聚焦离子束刻蚀大块材料,利用精准的氖离子束快速完成微加工,利用氦离子束加工精细的亚10纳米级结构。借助 0.5 纳米氦离子成像分辨率,可在同一台加工仪器中实现样品的高分辨率成像,尤其适用于非导电样品高分辨成像。

附件下载