集镓、氖、氦三种离子束于一身，是能实现从微米到纳米微加工的先进成像加工系统。使用镓聚焦离子束刻蚀大块材料，利用精准的氖离子束快速完成微加工，利用氦离子束加工精细的亚10纳米级结构。借助 0.5 纳米氦离子成像分辨率，可在同一台加工仪器中实现样品的高分辨率成像，尤其适用于非导电样品高分辨成像。