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飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)应用进展

信息来源:SYNL技术支撑部更新时间:2020-06-11阅读:88

    飞行时间二次离子质谱的浓度检出限可达ppm级,具有全周期表元素、同位素以及分子簇的分析鉴别能力。在分析HLiBeB等轻质元素显示出优势外,近几年二次离子质谱技术在SYNL的应用随多领域研究工作的开展呈现出新的能力。即使钢中稀土的含量仅在100 ppm以下,利用氧化态稀土与稀土二次离子的比值能够区分稀土在钢中以氧化物还是固溶的形式存在;利用二次离子质谱的逐层剥离的纵向深度分析技术结合三维分析技术,可以清晰的分辨出金属与陶瓷异质界面微量的元素扩散;近来在二维材料的工艺研究中,二次离子质谱的组分面分布表征和深度分析能力也发挥着不可替代的作用。与研究工作密切配合的二次离子质谱分析技术在解决科研工作中关键问题的同时,也在持续努力进步,展示出良好的发展前景。

 

Fig. Schematic of the producing and processing approach for 3D ToF-SIMS data